iPV-3000

iPV3000 第三代光伏离子注入设备（2017-）维持皮带水平传送硅片和固态磷离子源改进的大束流离子源，束流提升40%增加图案化注入掺杂功能产能3000WPH。

 

iSolar  iPV3000特点:

 

高产能、低成本

高密度束流系统，束流密度>4.0mA/cm，实现设备产能3000WPH。采用固态磷作为掺杂源，掺杂成本0.3分/片(RMB)。

 

兼容性强

传送方式简单。无需修改任何硬件，完全兼容不同硅片厚度（120-200μm）和尺寸（156-161.75mm）

 

双离子源设计

保证设备高uptime。根据客户需求，2个离子源可采用不同的掺杂源，一步实现p型和n型不同区域的掺杂。

 

图案化注入功能

硅片自对准工艺保证对准精度，结合双离子源实现图案化注入。

 

 

本土制造和服务

全面质量管理生产，一流服务质量。

 

iPV3000 产品参数:

注入离子 : P+, B+

注入能量: 5 to 15 keV

产能: 3000wph

尺寸 L x W: 5.7m x 2.5m