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iPV-2000
iPV2000
iPV2000 第二代光伏离子注入设备(2014-2017)略去质量分析,采用皮带水平传送硅片省去昂贵的磷烷,使用廉价的固态磷产能1500-1700WPH。
iPV-2000特点:
生产率高
iPV-2000拥有连续送片功能,单机产能可达1500片/小时,使得一条生 产线只配备一台机器成为可能,完全实现与现有产线产能的良好匹配。
占地面积小
iPV-2000占地19m2, 包括自动化设备前端系统在不更改现有生产线布局 的前提下实现技术升级。
制程成本低
优化的束流系统和硅片传输设计以及极低的耗材使得离子注入制程成本可与磷扩散炉持平。
本土制造和服务
全面质量管理生产,一流服务质量。成功开发多代IC离子注入机经 验的海外知名专家团队创立。我们建立了 “一丝不苟,精益求精”的企业文化;我们实现了国际一流质量和性能的离子注入机的国产化;我们迈出了中国制造走上中国创造之路的重要一步!
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