离子注入

离子注入是通过对半导体材料表面进行某种元素的掺杂，从而改变其特性的工艺制程，在集成电路（IC）工业中得到广泛的应用。作为离子注入制程的装备—离子注入机，是先进IC生产线上最关键的工具之一，每年全球拥有15-20亿美金的市场规模。

 

与热扩散的掺杂技术相比，离子注入技术具有以下特点：单面准直掺杂、良好的掺杂均匀性和可控性、掺杂元素的单一性，而且很容易实现掺杂区域的图形化。

 

这些特点给晶硅太阳能电池片的制造带来了热扩散所不具备的优势—不仅可形成高质量的PN结、提高电池的转换效率，而且可大大简化多种高效电池的制造工序：常规电池的生产可以省掉去磷硅玻璃和边缘刻蚀工艺；双面电池的生产则可免去掩膜工序；此外， 背接触电池所必需的分区掺杂可免去对准工序，这样便大幅度降低了此类电池的制造成本。离子注入是提高电池效率、制造高效电池最经济、最可靠地技术。

 

另外，由于省去了例如磷/硼扩散、去磷/硼硅玻璃以及边缘刻蚀等有毒排放工艺，所以离子注入又能显著降低电池片生产所造成的环境污染。

 

但是，IC离子注入机较低的生产率、昂贵的造价和庞大的占地面积，使得离子注入技术还没有在光伏产业上得以普及应用。根据太阳能电池工艺的实际情况和需求，为光伏产业量身订制了大束流离子注入机—IonSolar。在硅片的传输和离子束流系统上，IonSolar应用了多项拥有自主知识产权的突破性重大技术：单一注入元素的“帘状”宽幅离子束可无间断地“淋浴”到匀速传输的单晶硅片上，实现稳定、均匀的元素掺杂，并保证了高效的生产率和较低的制造成本，为太阳能电池的产线升级和高效电池的生产提供了一条有效途径。

 

IonSolar 特点：

• 生产率高

IonSolar拥有连续送片功能，单机产能可达1800片/小时，使得一条生产线只配备一台机器成为可能，完全实现与现有产线产能的良好匹配。

 

• 占地面积小

IonSolar占地22m2，在不更改现有生产线布局的前提下实现技术升级。

 

• 制程成本低

IonSolar制程成本仅为同类产品的60%，投入低，投资回收周期短。

 

• 本土制造和服务

欧美质量标准，本土化服务，快速高效。

 

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