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离子注入设备

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iPV3000

iPV3000 第三代光伏离子注入设备(2017-)维持皮带水平传送硅片和固态磷离子源改进的大束流离子源,束流提升40%增加图案化注入掺杂功能产能3000WPH。

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iPV2000

iPV2000 第二代光伏离子注入设备(2014-2017)略去质量分析,采用皮带水平传送硅片省去昂贵的磷烷,使用廉价的固态磷产能1500-1700WPH。

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离子注入

离子注入是通过对半导体材料表面进行某种元素的掺杂,从而改变其特性的工艺制程,在集成电路(IC)工业中得到广泛的应用。作为离子注入制程的装备—离子注入机,是先进IC生产线上最关键的工具之一,每年全球拥有15-20亿美金的市场规模。

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